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勻膠旋涂機的使用有利于提高涂膠工作的效率

2021-07-26

  勻膠旋涂機設備,包括弧形板,儲膠區,導流板,支撐柱和固定板,弧形板的弧度與使用的上膠輥外壁相同,弧形板的一側設置有儲膠區,與其對應的另一側設置有導流區,弧形板頂部中心設置有兩個相同的支撐柱,任意支撐柱頂部設置有螺母,任意支撐柱和螺母之間設置有固定板。任意支撐柱外壁有螺旋紋路,任意支撐柱和螺母螺旋連接。勻膠旋涂儀設備有益之處在于:能夠將膠液部勻,防止多余的膠液溢出,方便清潔,延長使用壽命,提高涂膠機工作效率。
  勻膠旋涂機按自動化程度可分為:
  a)自動勻膠設備;b)半自動勻膠設備。
  2按有無烘干方式分為:
  a)帶烘干裝置的勻膠設備;b)不帶烘干裝置的勻膠設備。
  3按加工基片幾何形狀可分為:
  a)圓片勻膠設備;b)方片勻膠設備。
  勻膠旋涂機使用注意事項:
  1.使用前氣路檢查;使用前主要檢查設備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣;
  2.遵守啟動順序;實驗時,依次打開設備電源開關,氮氣/干燥氣體瓶閥門,真空開關,結束時,先關真空,再關氮氣/干燥氣體瓶閥門;
  3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過大;建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調,直至設備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調整;
  4.嚴防超載;嚴禁放置超出設備限定范圍的過大過重材料,否則將會損壞設備的旋控精度;
  6.綠色環保實驗;對于廢液廢氣的排放和處置,請遵守試劑使用的相關環保說明;
  7.保持設備清潔;實驗結束后,請拭去設備內腔殘留物,并清空廢液接收罐,使用原片遮住Chuck,將設備用塑料封套蓋好以避污染;
  8.真空泵不宜長時間無負載運行;實驗期間設備閑置時,為了保護好泵的工作性能,請關閉真室泵,建議泵的連續作業不超過1小時。

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