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SE系列橢偏儀的詳細資料

橢偏儀是一種利用偏振態的變化 后光束探測樣品反應技術。不像反射儀,橢偏儀參數(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變入射角??梢缘玫礁嗟臄祿?,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數據信心。因此,可變角度比固定角度的系統具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變入射角,手動或自動模式。

Ansgtrom Sun公司設計角度調整模型,通過5度間隔后精確預置槽移動手臂手動調節角度和電動精密測角0.01度分辨率兩種模型。此外,測角垂直布局設計,樣品可以水平放置,這是更安全的處理樣品時??煽康暮妥銐虻脑紨祿?,更多膜的性能參數,如薄膜或涂層 厚度,光學常數(折射率n,消光系數k指數)、接口、孔隙度甚至成分可以通過建模。在這個意義上,先進的軟件是一個必須為高性能光譜(SE)工具。我們開發了TFprobe 3 x版軟件的系統設置。仿真,測量,分析,數據管理和2D / 3D圖形演示的一體機。  此外,SE200工具覆蓋了很寬的波長范圍內,從深紫外線(DUV)在可見光到近紅外(250~1100nm),標準配置。DUV范圍適合衡量超薄膜,如納米厚度范圍。一個例子是在硅晶片上的原生氧化層,這是典型的2nm厚的*。深紫外光譜也是*的,用戶需要測量多種材料的帶隙。

 SE系列型號:

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar

Spectroscopic Ellipsometer SE300BM

 Spectroscopic Ellipsometer SE500BA

 

 

 

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