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AS-One systems快速退火爐的詳細資料

 

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AS-One系統有兩種型號: AS-One 100 系統或AS-One 150 系統

快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的,高可靠且性價比高。

 

該工藝室采用貝殼式設計,可完全進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

 

快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工藝腔體運用不銹鋼冷腔室壁技術
溫度范圍標準配置:高達到1250°C

高溫配置:高達到1450°C

溫度控制

標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度

快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制

真空和氣體多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
電腦控制

全PC電腦控制,每個配方多100步驟

全數據記錄與處理歷史的人機界面設計

選項:

石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件

 

 

應用

 

 

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